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激光化学汽相沉积球面微透镜的研究【丝瓜成版人app】

时间:2021-03-07 13:18
本文摘要:介绍了一种利用激光化学气相沉积球面微透镜的精密技术。我们建立了一套液晶显示器的实验装置,并成功地在平面应时玻璃衬底上沉积和分解了平凸氮化硅球形微透镜。同时,测试了沉积微透镜的参数。实验中还考虑了液晶显示器的沉积过程。 实验结果表明,通过控制化学材料和源气体浓度,调节激光功率和衬底上的激光光斑尺寸,以及自由选择沉积时间,可以获得不同直径、半透明和表面光滑的平凸氮化硅球形微透镜。

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介绍了一种利用激光化学气相沉积球面微透镜的精密技术。我们建立了一套液晶显示器的实验装置,并成功地在平面应时玻璃衬底上沉积和分解了平凸氮化硅球形微透镜。同时,测试了沉积微透镜的参数。实验中还考虑了液晶显示器的沉积过程。

实验结果表明,通过控制化学材料和源气体浓度,调节激光功率和衬底上的激光光斑尺寸,以及自由选择沉积时间,可以获得不同直径、半透明和表面光滑的平凸氮化硅球形微透镜。近年来,由于光纤通信、光学计算机、数字光学信息处理、光电路构建等光电技术的快速发展,微透镜作为微光学领域的重要组成部分,得到了广泛的发展和应用。它不仅可以用作连接器,在激光二极管、光纤和光构建电路之间构建有效的光通信,还可以用作光盘或光盘播放器的拾取透镜和光纤输入光的光束透镜。

如果有必要在光纤端面沉积微透镜,数值孔径可以大大增加。阵列式微透镜在近景相机和成像系统中有其最重要的应用。微透镜通常指直径大于1毫米或小于数百微米的透镜。传统的工件研磨或压铸技术已经被用于制造呼吸困难的微透镜。

最近开发的制造微透镜的技术包括:使用掩模溶胶技术和电迁移技术在玻璃衬底上制造具有平面交错折射率的微透镜阵列;利用光解技术可以在光敏玻璃衬底上制作双凸微透镜阵列;光致抗蚀剂也可以涂覆在玻璃衬底上,微透镜阵列可以通过掩模光刻来产生。然而,上述制造微透镜的方法工艺简单、工序多、生产周期长、生产成本低。

近年来,激光化学气相沉积(LCVD)技术作为一种精致的技术被开发出来,可以充分发挥其在微电子和微光学领域的重要作用。用LcvD法制作微透镜,其设备和工艺都很简单,可以一步沉积分解,所需时间短,只需几分钟就可以形成微透镜。

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不仅可以沉积和分解单个微透镜,还可以沉积和分解微透镜阵列,并且需要在应时光纤端面沉积和分解微透镜,这些都显示了它的优点。1原理所谓LCvD技术是指源气体在激光诱导下发生化学反应,其产物沉积在衬底表面的技术。因为激光束可以探索其波长水平的允许范围,所以它可以构成微区沉积。

沉积薄膜的形貌不仅与激光束的特性有关,还与气相化学反应的机理、沉积亲和力与衬底温度的关系以及衬底温度的产生有关。


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